REMERCIEMENTS

Ce travail a été effectué au Département Hyperfréquences et Semiconducteurs (DHS) dirigé par Monsieur le Professeur Georges Salmer, qui me fait l'honneur de présider cette commission d'examen. Je l'en remercie sincèrement.

Que Monsieur Didier Lippens, Directeur de Recherche au CNRS, reçoive toute l'expression de ma reconnaissance pour m'avoir proposé ce sujet de recherche, et, pour tout son dynamisme et ses compétences scientifiques qui m'ont permis de mener à bien cette étude.

Je remercie tous particulièrement Monsieur Jacques Graffeuil, Professeur à l'Université Paul Sabatier de Toulouse, du Laboratoire d'Automatique et d'Analyse des Systèmes, ainsi que Monsieur Pierre Viktorovitch, Directeur de Recherche au CNRS, du Laboratoire d'Electronique Automatique et Mesures Electriques, de l'Ecole Centrale de Lyon, qui ont accepté de juger ce travail et d'en être les rapporteurs.

Je suis très sensible à la présence dans ce jury de Monsieur Sylvain Delage, chef de Laboratoire au groupe Composants du Laboratoire Central de Recherche de THOMSON-CSF à Orsay.

Je tiens également à remercier Monsieur Jean-Marc Goutoule, ingénieur à MATRA-MARCONI Space Toulouse, d'avoir accepté de participer au jury de cette thèse.

Je veux adresser tous mes remerciements à Monsieur le Professeur Renaud Fauquembergue, de l'Université des Sciences et technologies de Lille, pour sa participation à cette commission d'examen.

J'exprime toute mon amitié à Madame Patricia Legry et à Monsieur Pascal Tilmant, de la Centrale de Technologie, et je les remercie pour l'aide apportée avec les alignements face-arrière et la fabrication des masques.

Je remercie Mesdames Elisabeth Delos et Sylvie Lepillet, de la Centrale de Caractérisation, pour l'aide précieuse et la patience dont elles ont fait preuve, lors des caractérisations électriques des composants.

Je remercie Madame Marie-Antoinette Poisson, de THOMSON, et Messieurs Francis Mollot et Xavier Wallart, de l'IEMN, pour la croissance des couches épitaxiales utilisées dans ce mémoire.

Je voudrais remercier Madame Annie Fattorini et Monsieur André Leroy pour les dépôts métalliques du MECA 2000.

Mes remerciements vont également à Monsieur Didier Vandermoere pour le travail de précision effectué lors de la mise en boîtier des composants, et à Monsieur Bertrand Grimbert pour les dépôts de Nitrure de Silicium effectué dans le bati de PECVD.

J'adresse mes remerciements, pour la sympathie qu'ils m'ont témoignés, à Madame Michèle Miens, et à Messieurs Michel Muller, Marc François, Jean-Louis Codron, Jean-Louis Lorriot, Jacques Vanbremerch

Toute mon amitié à Monsieur Eric Lheurette avec qui j'ai partagé le bureau pendant ces années, et avec qui j'ai eu tant de discussions fructueuses.

Je remercie Monsieur Olivier Vanbésien pour ses conseils en informatique et Monsieur Patrick Mounaix pour ses recommandations technologiques, Mademoiselle Véronique Sadaune, Messieurs Olivier Tanguy, Mohamed Hélal, Reynald Havart, Jorge Carbonell, Olivier Dupuis, Juan Hinojosa et Régis Hamelin pour leurs conseils avisés.

Merci aussi à tous mes collègues et amis de longue date du laboratoire qui se reconnaitront ici. Je leur exprime ma profonde sympathie et leur souhaite beaucoup de bien.

Je souhaite enfin remercier mes amis, en particulier Mademoiselle Jean-Cécile Headley, Messieurs Sébastien Willerval et Stéphane Charrière pour leurs encouragements lors de ce séjour dans le Nord.