Le département de recherche MN2S est né le premier janvier 2008, mais s'appuie sur plus de 15 années d'expérience en microtechniques, en nanosciences et en nanotechnologies. Il fédère une grande partie des recherches de FEMTO-ST dans ces domaines. Les objectifs scientifiques du département MN2S sont les suivants :
produire des connaissances sur les ondes et les matériaux aux échelles micro- et nanoscopiques ;
développer des techniques et procédés de micro- et nano-fabrication ;
concevoir et réaliser des micro- et des nano-systèmes multiphysiques ;
développer l'instrumentation à l’échelle micro- et nanoscopique.
Les recherches menées dans le département de recherche MN2S sont organisées sous la forme des trois axes principaux :
Microsystèmes Multiphysiques
Allier des compétences variées en physique et sciences de l’ingénieur pour construire des microsystèmes complets. Concevoir des MEMS/MOEMS mariant optique, électronique, acoustique, fluidique, thermique, biochimie ; étudier leurs procédés de fabrication.
Micro Nano Matériaux et Surfaces (MINAMAS)
Étudier et réaliser des films minces nano structurés pour les MEMS/NEMS. Étudier les propriétés de surface de matériaux : micro nano tribologie, forces d’adhésion et de surface.
Situation géographique
L'entrée du bâtiment de l'avenue de l'Observatoire
Le département MN2S n'est pas localisé sur un site unique, mais est présent sur les différents sites de FEMTO-ST en Franche-Comté, à Besançon, Montbéliard et Belfort. Veuillez vous référer à l'annuaire pour obtenir l'adresse d'un membre du département en particulier. La direction du département est localisée sur le site du 32 avenue de l'Observatoire à Besançon (site de la direction de FEMTO-ST).