De la recherche fondamentale au partenariat industriel

Ecriture directe

Ecriture Directe

Description :

Un FIB (Focused Ion Beam) est un appareil qui permet de réaliser des gravures ou des dépôts localisées avec une très grande précision.
En connectant l'appareil à un système de photolithographie électronique (société Raith), permettant de piloté indifféremment la colonne électronique ou la colonne FIB, nous pouvons réaliser des lithographies par faisceau d'électrons (E-beam).

Bâti de gravure ionique focalisée (FIB), ORSAY PHYSICS



Bâti de gravure ionique focalisée FIB, ORSAY PHYSICS

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